FAB無塵室是啥意思?

文章作者:中凈環境 發布時間:2021-07-26 19:06:10 瀏覽次數:

[導讀:]現在很多產品或者行業都會有自己的英文名稱,為了提高辨識及分辨度,它們都會作出一個首字母的簡稱來作為稱呼,比如其中的FAB無塵室,這是啥意思?

現在很多產品或者行業都會有自己的英文名稱,為了提高辨識及分辨度,它們都會作出一個首字母的簡稱來作為稱呼,比如其中的FAB無塵室,這是啥意思?下面中凈為大家解答。

FAB無塵室是芯片生產加工的凈化車間的一般稱呼。tsmc、中芯國際的生產線都叫fab。凈化車間不一樣等級氣體潔凈度等級的空氣過濾網的采用、布局關鍵點:針對300000級空氣過濾解決,可選用亞高效送風口替代高效送風口;氣體潔凈度等級100級、10000級及100000級的空氣過濾解決,應選用初、中、高效送風口三級過濾裝置。

FAB半導體材料芯片無塵室工作環境的規定:因為電子設備在生產制造、生產過程中對室內空氣質量自然環境和質量的規定極其嚴苛,關鍵以操縱粒子和塵土為關鍵目標,與此同時還對其自然環境的溫度濕度、清新空氣量、噪音等做出了嚴苛的要求。1、房間內的噪音級(空態):不可超過65dB(A)。2、豎直流凈化室布滿比不可低于60%,水準單邊流凈化室不可低于40%,不然便是部分單邊流了。3、與戶外的負壓差不可低于10Pa,不一樣氣體潔凈度等級的潔凈區和非潔凈區中間的負壓差不可低于5Pa。4、清潔房間內的清新空氣量應選以下二項中的最高值:5、賠償房間內風量和維持房間內正壓力值所需的清新空氣量之和。6、保證供給清潔房間內每個人每鐘頭的清新空氣量不小于40m3。7、空調凈化系統軟件電加熱器,應設定新風系統,過熱關閉電源維護,若選用點增濕時要設定沒有水維護,嚴寒地域,家用新風系統應設定防寒保障措施。無塵室的送排風量。

半導體材料(FAB)凈化室中空氣濕度的目標大概操縱在30至50%的范疇內,容許偏差在±1%的狹小的范疇內,比如光刻技術區──或是在遠紫外光解決(DUV)區乃至更小──而在別的地區則能夠釋放壓力到±5%的范疇內。


以上就是中凈環境 為大家介紹的“FAB無塵室”,希望能對您有所幫助。它只是一個英文單詞的縮寫,簡稱FAB,含義就是芯片加工的車間,對于行業來說非常重要。

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